在半導體、硬盤、平板顯示器的制造賽道上，環境把控是不容有失的生命線 —— 一絲一毫的質量缺陷，都可能轉化為難以估量的經濟損失。而守住這條生命線的關鍵，就是對潔凈車間、工藝核心區的環境粒子，進行毫厘不差的測量與計數。
TSI，擁有近 60 年高靈敏度粒子計數器研發經驗，是行業內名副其實的 “老牌標桿”。其儀器憑借無可挑剔的準確性、重復性與可靠性，成為全球多國國家級標準實驗室的信賴之選。
可精確測量0.100μm的粒子，粒徑范圍為0.100至10.0 μm，可同時檢測多達八個通道的粒子數據，1.0 CFM (28.3 L/min)流速，能夠滿足半導體潔凈室應用的苛刻要求。 應用領域 ? 潔凈窒微粒子監測,過程監控和過濾器測試 ? I 級和 II 級無塵室檢測 ? 適用于單機運行或集成到設施監控系統 精確檢測0.100 μm的粒子 0.100至10.0 μm粒徑范圍 可同時檢測多達八個通道的粒子數據 1.0 CFM (28.3 L/min)流速 符合ISO 21501-4標準中所有要求 I級和II級無塵室檢測最佳選擇 完全符合ISO 21501-4要求 可生成ISO-14644-1，EU GMP Annex1和FS209E的符合性報告 通過TRAKPRO Lite Secure軟件輸出的外部認證報告 采用增強HeNe激光 高可重復和高可靠檢測/數據 數據存儲：250區，999個位置和10,000個樣本 USB、以太網和脈沖輸出 工業級高分貝報警 允許存儲和回放特定測試/配置 顯示多達三個環境參數 不銹鋼外殼 無縫整合M32-01多點采樣器 無塵室分類達到ISO I級
特點與優勢
9110型可以通過打印機和配套的TrakProTM LiteSecure下載軟件生成符合ISO 14644-1標準的通過或非符合的報告。它不僅可以作為單機粒子計數器使用，也可以集成于在線粒子監測系統。是市面上唯一一款提供此售后保證的便攜式 0.100μm 粒子計數器。 對于半導體制造而言，潔凈度就是生命線 —— 不僅關系到潔凈室是否合規，更直接決定最終產品品質。唯有實現無污染生產，才能從源頭減少缺陷、降低良率損失，讓設備運行更穩定可靠。
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