RION/日本理音液體粒子計數(shù)器，可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計數(shù)器的使用是為了控制化學品中的粒子，如半導(dǎo)體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料，超純水和清洗用化學劑比如堿，有機溶劑和氫氟酸。另外，也可檢測化學機械拋光中大粒徑的研磨液，測試方法包括在線和離線測試。

特點優(yōu)勢

測量范圍 5通道;   ≥0.1μm;  ≥0.15μm;  ≥0.2μm;  ≥0.3μm;   ≥0.5μm

最多粒子數(shù)量 30000顆/ml（誤差值低于5%）

技術(shù)參數(shù)

光源 鐳射二極管(波長:830nm,額定輸出:200mW)

部分材料 人造石英,不銹鋼，氟塑料

流量 測試流量100ml/分鐘

測量范圍 5通道;   ≥0.1μm;  ≥0.15μm;  ≥0.2μm;  ≥0.3μm;   ≥0.5μm

最多粒子數(shù)量 30000顆/ml（誤差值低于5%）

電源 100V~240V AC,40VA(包含電源供應(yīng)器KZ-50)

尺寸.重量 135(H) X 280(W) X 150 (D) mm,大約:6.5kg